EUV LLC联盟的研发费用出资比例中，牵头的美国能源部出30%，Intel和GCA各出20%，Motorola、IBM、IT、ADM和HP各出4%，Micron和Cymer等其他33家科技企业和研究机构共出10%，今后享受的权利同出资比例相同。
GCA需要出资的20%中，以前的EUV研究成果折算15%。
GCA这些年为了研发EUV投资了1.5亿美元，取得了不少有关EUV的研究成果，但离成功还有很远的距离，以GCA一家之力很难完成，汤普森院长不得不放弃，出面邀请美国能源部和Intel等光刻机和半导体产业的同行，美国能源部牵头成立了EUV LLC。
美国能源部的三家国家实验室、Intel和Cymer等公司这些年也在研发EUV，但远远落后在GCA的后面，汤普森院士众望所归，成了EUV LLC联盟的CTO。
作为GCA的法人兼董事长，孙健乐见其成。
光刻机公司迟迟不能攻克193nm波长的世界级难题，65nm制程工艺光�
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